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TFT 特性异常与可靠性

曲线不在原位时,究竟发生了什么。界面电荷与氢、斜率变平与电流泄漏的缘由、驼峰与迟滞、DIBL·GIDL 与热载流子,以及随时间推移使阈值电压漂移的偏压应力——追踪器件失效的方式。

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