TFT の特性異常と信頼性

曲線が本来の位置にないとき、何が起きたのか。界面電荷と水素、傾きが寝て電流が漏れる理由、ハンプとヒステリシス、DIBL・GIDL とホットキャリア、そして時間とともにしきい値電圧を動かすバイアスストレスまで — 素子が崩れていく筋道を追う。