
시리즈
디스플레이 백플레인 공정
화면 뒤의 반도체는 어떻게 만들어지는가. 폴리이미드 기판, 열처리, 엑시머 레이저 결정화, 도핑에서 배선까지 — OLED 백플레인 한 장이 만들어지는 공정을 순서대로 20편으로 정리한다.
전체 편20 / 20편·완결

#01
디스플레이 백플레인 공정 #01 — 화면 뒤의 반도체, 백플레인이란
26.08.16

#02
디스플레이 백플레인 공정 #02 — PI ① 유리 위에 만드는 플렉시블 기판: 재료와 구조
26.08.23

#03
디스플레이 백플레인 공정 #03 — PI ② 바르고, 말리고, 굽는다: 공정과 장비
26.08.28

#04
디스플레이 백플레인 공정 #04 — 열처리 ① 레이저 전에 수소를 빼야 하는 이유
26.09.03

#05
디스플레이 백플레인 공정 #05 — 열처리 ② 퍼니스에서 RTA까지, 장비의 삼각형
26.09.04

#06
디스플레이 백플레인 공정 #06 — ELA ① 나노초의 마법, 비정질에서 다결정으로
26.09.04

#07
디스플레이 백플레인 공정 #07 — ELA ② 308nm 자외선과 라인 빔, 그리고 무라
26.09.04

#08
디스플레이 백플레인 공정 #08 — 도핑: 실리콘에 극성을 새기다
26.09.07

#09
디스플레이 백플레인 공정 #09 — 증착 ① 진공과 플라즈마, 모든 막의 무대
26.09.12

#10
디스플레이 백플레인 공정 #10 — 증착 ② 스퍼터링: 때려서 옮기는 금속 배선
26.09.14

#11
디스플레이 백플레인 공정 #11 — 증착 ③ PECVD: 플라즈마가 만드는 절연막
26.09.17

#12
디스플레이 백플레인 공정 #12 — 포토 ① 사진을 찍듯 회로를 그린다
26.09.19

#13
디스플레이 백플레인 공정 #13 — 포토 ② 노광 장비와 마스크의 기술
26.09.19

#14
디스플레이 백플레인 공정 #14 — 식각 ① 공통 개념과 네 개의 파라미터
26.09.21

#15
디스플레이 백플레인 공정 #15 — 식각 ② 드라이: 플라즈마로 깎는다
26.09.28

#16
디스플레이 백플레인 공정 #16 — 식각 ③ 웻: 언더컷·갈바닉 부식·BOE
26.10.02

#17
디스플레이 백플레인 공정 #17 — 스트립: 역할을 마친 감광막을 걷어내다
26.10.02

#18
디스플레이 백플레인 공정 #18 — 세정 ① 입자는 왜 떨어지지 않는가
26.10.06

#19
디스플레이 백플레인 공정 #19 — 세정 ② 화학 세정: 불산·오존·알칼리와 RCA
26.10.14

#20
디스플레이 백플레인 공정 #20 — 세정 ③ 물리 세정과 초순수, 그리고 스무 편을 마치며
26.10.14