
시리즈
디스플레이 백플레인 공정
화면 뒤의 반도체는 어떻게 만들어지는가. 폴리이미드 기판, 열처리, 엑시머 레이저 결정화, 도핑에서 배선까지 — OLED 백플레인 한 장이 만들어지는 공정을 순서대로 20편으로 정리한다.
전체 편8 / 20편·연재 중

#01
디스플레이 백플레인 공정 #01 — 화면 뒤의 반도체, 백플레인이란
26.08.16

#02
디스플레이 백플레인 공정 #02 — PI ① 유리 위에 만드는 플렉시블 기판: 재료와 구조
26.08.23

#03
디스플레이 백플레인 공정 #03 — PI ② 바르고, 말리고, 굽는다: 공정과 장비
26.08.28

#04
디스플레이 백플레인 공정 #04 — 열처리 ① 레이저 전에 수소를 빼야 하는 이유
26.09.03

#05
디스플레이 백플레인 공정 #05 — 열처리 ② 퍼니스에서 RTA까지, 장비의 삼각형
26.09.04

#06
디스플레이 백플레인 공정 #06 — ELA ① 나노초의 마법, 비정질에서 다결정으로
26.09.04

#07
디스플레이 백플레인 공정 #07 — ELA ② 308nm 자외선과 라인 빔, 그리고 무라
26.09.04

#08
디스플레이 백플레인 공정 #08 — 도핑: 실리콘에 극성을 새기다
26.09.07