ディスプレイ・バックプレーン工程·シリーズページ →
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- 1ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #01 — 画面の裏の半導体、バックプレーンとはclub.dapanda26.08.161390—
- 2ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #02 — PI ① ガラスの上につくるフレキシブル基板：材料と構造club.dapanda26.08.231370—
- 3ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #03 — PI ② 塗って、乾かして、焼く：工程と装置club.dapanda26.08.281740—
- 4ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #04 — 熱処理 ① レーザーの前に水素を抜く理由club.dapanda26.09.03940—
- 5ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #05 — 熱処理 ② ファーネスからRTAまで、装置の三角形club.dapanda26.09.04880—
- 6ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #06 — ELA ① ナノ秒の魔法、アモルファスから多結晶へclub.dapanda26.09.04880—
- 7ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #07 — ELA ② 308nm紫外線とラインビーム、そしてムラclub.dapanda26.09.04840—
- 8ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #08 — ドーピング：シリコンに極性を刻むclub.dapanda26.09.071120—
- 9ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #09 — 成膜 ① 真空とプラズマ、すべての膜の舞台club.dapanda26.09.12710—
- 10ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #10 — 成膜 ② スパッタリング：叩いて運ぶ金属配線club.dapanda26.09.141240—
- 11ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #11 — 成膜 ③ PECVD：プラズマがつくる絶縁膜club.dapanda26.09.17850—
- 12ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #12 — フォト ① 写真を撮るように回路を描くclub.dapanda26.09.19740—
- 13ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #13 — フォト ② 露光装置とマスクの技術club.dapanda26.09.19800—
- 14ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #14 — エッチング ① 共通概念と4つのパラメータclub.dapanda26.09.21950—
- 15ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #15 — エッチング ② ドライ：プラズマで削るclub.dapanda26.09.28890—
- 16ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #16 — エッチング ③ ウェット：アンダーカット・ガルバニック腐食・BOEclub.dapanda26.10.02980—
- 17ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #17 — ストリップ：役目を終えたレジストを剥がすclub.dapanda26.10.021050—
- 18ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #18 — 洗浄 ① 粒子はなぜ離れないのかclub.dapanda26.10.061220—
- 19ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #19 — 洗浄 ② 化学洗浄：フッ酸・オゾン・アルカリとRCAclub.dapanda26.10.14800—
- 20ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #20 — 洗浄 ③ 物理洗浄と超純水、そして全20回を終えてclub.dapanda26.10.14830—