ディスプレイ・バックプレーン工程·シリーズページ →
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- 1ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #01 — 画面の裏の半導体、バックプレーンとはclub.dapanda26.08.16890—
- 2ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #02 — PI ① ガラスの上につくるフレキシブル基板：材料と構造club.dapanda26.08.23830—
- 3ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #03 — PI ② 塗って、乾かして、焼く：工程と装置club.dapanda26.08.281210—
- 4ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #04 — 熱処理 ① レーザーの前に水素を抜く理由club.dapanda26.09.03430—
- 5ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #05 — 熱処理 ② ファーネスからRTAまで、装置の三角形club.dapanda26.09.04320—
- 6ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #06 — ELA ① ナノ秒の魔法、アモルファスから多結晶へclub.dapanda26.09.04360—
- 7ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #07 — ELA ② 308nm紫外線とラインビーム、そしてムラclub.dapanda26.09.04360—
- 8ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #08 — ドーピング：シリコンに極性を刻むclub.dapanda26.09.07640—
- 9ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #09 — 成膜 ① 真空とプラズマ、すべての膜の舞台club.dapanda26.09.12210—
- 10ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #10 — 成膜 ② スパッタリング：叩いて運ぶ金属配線club.dapanda26.09.14610—
- 11ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #11 — 成膜 ③ PECVD：プラズマがつくる絶縁膜club.dapanda26.09.17250—
- 12ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #12 — フォト ① 写真を撮るように回路を描くclub.dapanda26.09.1940—
- 13ブログディスプレイバックプレーンディスプレイ・バックプレーン工程 #13 — フォト ② 露光装置とマスクの技術club.dapanda26.09.1940—